infanata.info

Управление
Наши друзья
Помощь / Donate
Статистика
Infanata » НАНОТЕХНОЛОГИИ » ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЯХ: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ
« НАНОТЕХНОЛОГИИ »

ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЯХ: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие
Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие
Автор: 
Издательство:  Бином. Лаборатория знаний
Год издания:  2015
Страниц:  283
Жанр: Нанотехнологии
Описание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.



Ключевые теги: процесс, нанотехнология, технолог, микромеханика, травление, микром, оптимизация, соответствие, характер, диагностика, инженер, работник, вопрос, аспирант, студент, галперин
Администрация рекомендует нижеследующее:
Что такое форматы pdf и djvu и чем их читать  :   Правила на сайте
Информация
Alert Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии в данной новости.